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酸性蝕刻自動(dòng)分析速率影響因素有哪些?

發(fā)布時(shí)間: 2017-10-28  點(diǎn)擊次數(shù): 3133次
酸性蝕刻自動(dòng)分析,也叫氯化銅酸性蝕刻系統(tǒng),通常使用于單面板蝕刻、多層板的內(nèi)層蝕刻或外層蝕刻上。因這些制程都用干膜或液態(tài)感光油墨作為蝕刻阻劑,而這幾種感光材料相對(duì)而言均為耐酸不耐堿性的特性,故選用酸性蝕刻。
酸性蝕刻自動(dòng)分析系統(tǒng)類型簡(jiǎn)介
1.三氯化鐵蝕刻液 ﹕
其再生困難,污染嚴(yán)重,廢液難處理等而正在被淘汰(Fe3+>50%)。
2.硫酸—雙氧水蝕刻液﹕
由于蝕刻速度較低,其一般用于圖形電鍍、內(nèi)外層壓膜前處理 (適于薄銅)。
3.氯酸鹽蝕刻液﹕
具有蝕刻速度穩(wěn)定,溶銅量大,蝕刻液易再生和回收,能減少污染等特點(diǎn)。
氯酸鹽系統(tǒng)簡(jiǎn)介
1.酸性蝕刻液的主要成份:HCl(鹽酸)、NaClO3(氯酸鈉)及添加劑
2.目前公司生產(chǎn)的酸性蝕刻液再生劑主要為CC-228,系以低氯酸鈉為主,且加入特殊之添加劑的濃縮蝕刻液,生產(chǎn)作業(yè)時(shí),系以低酸當(dāng)量進(jìn)行操作,現(xiàn)場(chǎng)無(wú)氯氣,并得到較優(yōu)良的蝕刻因子。
3.CC-228能取代雙氧水應(yīng)用在大多數(shù)氯化銅酸性蝕刻上,免除雙氧水穩(wěn)定性控制問(wèn)題,且較雙氧水安全,再搭配自動(dòng)添加系統(tǒng),將成為經(jīng)濟(jì)效益和操作安全的氯化銅蝕刻再生系統(tǒng)。
酸性蝕刻自動(dòng)分析速率影響因素有哪些?
1.溫度:蝕刻速率隨著溫度的升高而增加。
溫度升高時(shí)
ORP值會(huì)增加。
蝕刻的側(cè)蝕量會(huì)增加。
HCl揮發(fā)量會(huì)加大,藥水損耗會(huì)增加。
因此要提高蝕刻速率時(shí)可以適度提高溫度,但zui高不要超過(guò)55℃。
2.比重:當(dāng)比重小于1.3時(shí),蝕刻速率隨著比重的增大而變大。當(dāng)比重大于1.3時(shí),蝕刻速率隨著比重的增大而減小。
3.ORP:ORP在500以上蝕刻速率*,580以上則對(duì)蝕刻速率影響不大。
4.酸當(dāng)量:蝕刻液中必須存在一定的酸當(dāng)量才能夠進(jìn)行蝕刻液的再生。增加酸當(dāng)量可以促進(jìn)蝕刻速率。
0-3N的酸當(dāng)量時(shí),蝕刻速率的增長(zhǎng)和鹽酸的量成正比;
3-5N的酸當(dāng)量時(shí),增長(zhǎng)速率變緩。
增大酸當(dāng)量可以增大蝕刻速率,但也會(huì)增大側(cè)蝕;如果想控制側(cè)蝕,酸當(dāng)量不宜過(guò)高。 
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